全球領(lǐng)先的真空設(shè)備、尾氣處理設(shè)備和相應(yīng)服務(wù)的供應(yīng)商Edwards公司宣布達(dá)到具有重大意義的里程碑——自20年前進(jìn)入市場以來，公司銷售的尾氣處理系統(tǒng)超過了1萬臺(tái)。此外，在VLSI Research針對(duì)半導(dǎo)體和平板顯示器產(chǎn)業(yè)的報(bào)告——2011年前十大關(guān)鍵分系統(tǒng)供應(yīng)商(Top 10 Suppliers of Critical Subsystems 2011)中，Edwards公司排名第二(詳見注釋)。

　　Edwards排氣管理系統(tǒng)產(chǎn)品經(jīng)理Steve Cottle稱：“業(yè)界對(duì)環(huán)境和氣候變化日益關(guān)心，這促使人們更多地意識(shí)到，需要減少排放各種可能的有害工業(yè)副產(chǎn)品。例如，2011年我們應(yīng)用于客戶設(shè)施的系統(tǒng)負(fù)責(zé)減少了大約850萬公噸的二氧化碳排放，相當(dāng)于英國全部工業(yè)工藝，全年度二氧化碳凈排放的98%。”

　　VLSI Research(歐洲)CEO John West表示：“2011年對(duì)于關(guān)鍵分系統(tǒng)供應(yīng)商是創(chuàng)紀(jì)錄的一年。銷售額增長9.3%，達(dá)到78.8億美元。產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要推動(dòng)力是對(duì)于32nm以及以下工藝半導(dǎo)體制造設(shè)備的資本投入。”

　　Edwards所銷售的大部分尾氣處理系統(tǒng)一直是公司的內(nèi)向火焰燃燒室(inward fired combustor)產(chǎn)品系列，包括TPU以及Atlas系列產(chǎn)品。由于這些系統(tǒng)具有經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的性能和極高的可靠性，在過去十年里，Edwards的內(nèi)向火焰燃燒室產(chǎn)品已經(jīng)成為最暢銷的燃燒尾氣處理系統(tǒng)。

　　在地域方面，美國仍然是Edwards公司這些系統(tǒng)的最大市場。然而，亞太地區(qū)的高科技制造快速增長且環(huán)保法規(guī)要求日益嚴(yán)格，二者結(jié)合推動(dòng)Edwards在亞太地區(qū)實(shí)現(xiàn)顯著增長。

　　Cottle補(bǔ)充說：“我們一方面非常高興達(dá)到這個(gè)重要的里程碑，同時(shí)也對(duì)通過減少有害溫室氣體排放而改善環(huán)境而感到自豪。”