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            安智電子材料與IBM共同開發(fā)新世代微影技術

            —— 這項基礎研究將影響工業(yè)的發(fā)展應用
            作者: 時間:2010-12-29 來源:安智電子材料 收藏

              在和平面顯示器產業(yè)居領導地位的主要電子化學品供應商(AZ)電子材料(倫敦股票交易所:AZEM)與IBM簽署了一項協(xié)議(紐約證券交易所:IBM)開發(fā)新世代的微影技術。將與IBM-Almaden研究中心的材料研發(fā)團隊共同開發(fā)一種以塊狀聚合物為基礎的材料,可以應用在與傳統(tǒng)的微影及制程設備相容的定向自組裝(Directed Self-Assembly, DSA)制程。

            本文引用地址:http://www.biyoush.com/article/115841.htm

              市場預估應用奈米技術的產品到2015年將達到2.41兆美元的規(guī)模,因此降低制造成本,改善元件性能是必要的。這項致力于基礎科學研究及解決方案的合作,將廣泛影響工業(yè)的發(fā)展應用,包括從醫(yī)療到消費性電子裝置的手機和電腦等的應用。例如,根據2009年國際半導體技術藍圖(www.itrs.net),DSA技術已經被視為可以滿足16奈米及11奈米半間距(half-pitch)設計要求的潛在制程。

              與IBM-Almaden研發(fā)團隊的合作,提供AZ很好的機會,運用既有領先的底層技術、材料設計和放大能力,發(fā)展替代的定義圖案(patterning)解決方案,的執(zhí)行長Geoff Wild表示: 「IBM在這個領域的先驅地位,為AZ-IBM這項未來應用于半導體制造技術的DSA制程的成功,奠定了深厚的技術基礎?!埂?/p>

              “當半導體產業(yè)朝向,克服縮小設計節(jié)點的既有挑戰(zhàn),導致了設計、制程開發(fā)和光罩成本的上升”,IBM研發(fā)的副總裁TC 陳說:“與安智的合作將使我們能夠發(fā)展新的突破性及創(chuàng)新性的微影技術,使得整體半導體產業(yè)發(fā)展持續(xù)前進,同時兼顧降低生產設備及制程的總成本”。

              “從長遠來說,我預期電子產業(yè)將持續(xù)專注于改善操作成本。其中一個方式是藉由導入由下而上的制程,使用〝智慧型化學品〞來擴展和增強用于定義圖案的半導體設備功能”,安智的技術長Ralph Dammel表示:“DSA技術正是朝此方向邁進,我期待我們將會看到這項技術的實際應用遠多于我們現在所討論的,這也正是安智企盼建構在IBM多年DSA的經驗基礎上,使我們能成為這項材料的首要供應商”。

              這個長達多年的合作計劃,將會在安智電子材料位于美國、德國、韓國的研發(fā)單位以及IBM在美國的Almaden研發(fā)中心共同進行。



            關鍵詞: 安智 半導體

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