京瓷:小面積太陽能電池轉換效率達13.8％
—— 微晶硅層的形成方面采用了Cat-PECVD方法
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在2010年10月19~21日于東京舉行的研討會“NaturePhotonicsTechnologyConference"上京瓷發(fā)表了有關演講，公布了有關薄膜硅太陽能電池的研發(fā)情況。面積為1cm2的電池單元，穩(wěn)定前的轉換效率已達到13.8%.
本文引用地址：http://www.biyoush.com/article/113842.htm實現13.8%轉換效率的是疊加非晶硅層和微晶硅層的串聯(lián)構造的薄膜硅太陽能電池。京瓷在其中微晶硅層的形成方面，采用了稱為Cat-PECVD的方法。
普通的PECVD方法是將SiH4和H2同時放入反應室中。而京瓷則是將加熱到1800℃的鎢(W)絲和鉭(Ta)絲等作為觸媒(Catalyzer)分解H2,然后再導入反應室中。這樣，就可形成高品質的微晶硅。
采用Cat-PECVD方法時的微晶硅層的成膜速度為1.6nm/秒。在普通的PECVD方法中，該成膜速度下形成的薄膜硅太陽能電池的轉換效率在11%上下。想要在普通的PECVD方法下使轉換效率提高到13.8%,就需要將成膜速度降至0.9nm/秒左右。今后，京瓷將以解決大面積化等課題為目標推進研發(fā)。
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