兩家LED和太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備巨頭今年二季度的財(cái)報(bào)相信會(huì)讓國(guó)人暗生艷羨卻又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的營(yíng)收達(dá)2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%;Aixtron 2010年第二季度的營(yíng)收達(dá)1.918億歐元，年增238%。正是固態(tài)照明產(chǎn)業(yè)和可再生能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展讓這兩家分別位于美國(guó)和德國(guó)的企業(yè)賺得是盆滿(mǎn)缽滿(mǎn)，中國(guó)相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)和資本在其中也可謂“貢獻(xiàn)”良多，例如，有機(jī)構(gòu)預(yù)計(jì)，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣(mài)到中國(guó)大陸。

　　如何發(fā)展國(guó)產(chǎn)的太陽(yáng)能和LED生產(chǎn)設(shè)備，降低生產(chǎn)成本，是關(guān)乎中國(guó)綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國(guó)產(chǎn)太陽(yáng)能光伏設(shè)備在國(guó)內(nèi)用戶(hù)中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可，越來(lái)越多的客戶(hù)從國(guó)產(chǎn)設(shè)備使用中受益。中國(guó)光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽(yáng)能電池制造整線(xiàn)裝備能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)等開(kāi)始少量出口，擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、清洗/制絨機(jī)、石英管清洗機(jī)、低溫烘干爐)已在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線(xiàn)占據(jù)主導(dǎo)地位，管式PECVD、快速燒結(jié)爐和進(jìn)口設(shè)備并存但份額在逐步增大，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)、自動(dòng)分撿機(jī)、平板式PECVD則基本依賴(lài)進(jìn)口。

　　即將參展第76屆中國(guó)電子展暨亞洲電子展(上海)的青島華旗科技有限公司就是一家專(zhuān)業(yè)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進(jìn)材料專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)、制造廠家，致力于為半導(dǎo)體集成電路分立器件、太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供先進(jìn)的專(zhuān)用設(shè)備,工藝涵蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴(kuò)散退火(含快速退火工藝)合金、真空燒結(jié)等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散爐可供太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)線(xiàn)上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴(kuò)散、氧化、退火等工藝使用。

　　另一家參展商青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司也將展示低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備和SRD-VGF單晶爐設(shè)備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。

　　在LED照明方面，中國(guó)的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對(duì)外延效率的提升率與國(guó)外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設(shè)備一直主要依賴(lài)進(jìn)口昂貴的國(guó)外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備對(duì)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識(shí)之士都呼吁中國(guó)相關(guān)部門(mén)要集中人才和資源進(jìn)行重點(diǎn)開(kāi)發(fā)，解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，并盡早實(shí)現(xiàn)LED生產(chǎn)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會(huì)加快推動(dòng)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實(shí)現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。

　　可喜的是，即將在第76屆中國(guó)電子展亮相的國(guó)產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備為人們點(diǎn)燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達(dá)為代表的一批中國(guó)設(shè)備制造商在關(guān)注太陽(yáng)能電池市場(chǎng)的同時(shí)，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場(chǎng)應(yīng)用領(lǐng)域，并保持住價(jià)格優(yōu)勢(shì)，在新一輪的競(jìng)爭(zhēng)中爭(zhēng)取更大的市場(chǎng)空間。他們或?qū)⒊蔀楦淖冎袊?guó)乃至世界LED生產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)格局的重要力量。