全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走入50奈米制程后，浸潤(rùn)式曝光機(jī)臺(tái)(Immersion Scanner)出現(xiàn)大缺貨，尤其是最新款的NXT:1950i機(jī)種上，交期幾乎拉到快12個(gè)月，使得2010年才下訂單的臺(tái)系DRAM廠(chǎng)苦等多時(shí);存儲(chǔ)器業(yè)者透露，爾必達(dá)(Elpida)陣營(yíng)開(kāi)始轉(zhuǎn)向采購(gòu)舊機(jī)種XT:1950i應(yīng)急。然美光(Micron)陣營(yíng)則認(rèn)為，舊機(jī)種頂多用到40奈米制程就是極限，不像新機(jī)種NXT:1950i可以一路做到30奈米。

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在進(jìn)入50奈米以下制程，都必須開(kāi)始用Immersion Scanner，此機(jī)器設(shè)備1臺(tái)價(jià)格高達(dá)新臺(tái)幣10億~20億元，過(guò)去2年DRAM產(chǎn)業(yè)不景氣時(shí)，臺(tái)系廠(chǎng)商根本沒(méi)有資金可以去預(yù)定機(jī)臺(tái)，因此設(shè)備商 ASML現(xiàn)在交貨都以臺(tái)積電、三星電子(Samsung Electronics)、東芝(Toshiba)等大廠(chǎng)為主，臺(tái)灣DRAM廠(chǎng)轉(zhuǎn)制程的進(jìn)度也因此被嚴(yán)重耽擱。

　　目前4大DRAM陣營(yíng)當(dāng)中，三星和海力士(Hynix)等韓系大廠(chǎng)早已拿到Immersion Scanner機(jī)臺(tái)，不但已經(jīng)量產(chǎn)50奈米制程，也開(kāi)始大量轉(zhuǎn)進(jìn)30奈米，美光陣營(yíng)由于資金充足，Immersion Scanner機(jī)臺(tái)近期也都陸續(xù)到貨，只剩下?tīng)柋剡_(dá)陣營(yíng)的Immersion Scanner機(jī)臺(tái)到位時(shí)程最晚。

　　存儲(chǔ)器業(yè)者透露，爾必達(dá)陣營(yíng)中的臺(tái)系DRAM廠(chǎng)，日前也決定放棄等待交期長(zhǎng)達(dá)12個(gè)月的新機(jī)種NXT:1950i，轉(zhuǎn)向采購(gòu)舊機(jī)種XT:1950i，一來(lái)不用等太久，二來(lái) XT:1950i機(jī)種比NXT:1950i便宜約20%，可以節(jié)省支出費(fèi)用。

　　然而，ASML 新一代的NXT:1950i標(biāo)榜可以因應(yīng)到30奈米制程的技術(shù)，且產(chǎn)出速度更快，1小時(shí)?出可達(dá)175~200片晶圓，但舊機(jī)種XT:1950i可能只能因應(yīng)到40奈米制程，屆時(shí)如果要再導(dǎo)入30奈米世代制程，就要再花錢(qián)更新機(jī)臺(tái)。

　　目前兩陣營(yíng)各有各的說(shuō)詞，美光陣營(yíng)由于資金充裕且預(yù)定的時(shí)間點(diǎn)早，因此策略是傾向是一步到位，全數(shù)都采購(gòu)最新的NXT:1950i，因應(yīng)美光、南亞科和華亞科計(jì)劃2011年將要開(kāi)始導(dǎo)入35奈米，屆時(shí)不用再更新機(jī)臺(tái)。

　　然爾必達(dá)陣營(yíng)確認(rèn)為，舊機(jī)種XT:1950i雖然只能做到40奈米世代，但現(xiàn)在要搶時(shí)效比較重要，Immersion Scanner機(jī)臺(tái)越早進(jìn)入，越可以快速轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程，拉進(jìn)與同業(yè)間的距離，等到30奈米世代時(shí)，其實(shí)只要再補(bǔ)足一些機(jī)臺(tái)就可以繼續(xù)轉(zhuǎn)進(jìn)，并不需要全數(shù)更換。

　　DRAM業(yè)者認(rèn)為，爾必達(dá)陣營(yíng)為了搶時(shí)效采購(gòu)XT:1950i世代的機(jī)器未必是壞事，如果現(xiàn)在不趕緊轉(zhuǎn)進(jìn)42奈米制程，光是靠63 奈米制程支撐，雖然成本結(jié)構(gòu)仍有優(yōu)勢(shì)，但卻沒(méi)有2Gb產(chǎn)品可以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。

　　DRAM業(yè)者進(jìn)一步分析，爾必達(dá)一向擅長(zhǎng)利用現(xiàn)有制程微縮，以最少的費(fèi)用創(chuàng)造最大的效應(yīng)，象是這次從65奈米微縮成的63奈米就是杰作之一，其成本效應(yīng)和50奈米不相上下，但投資金額卻降至最低。

　　未來(lái)到40奈米以下，爾必達(dá)也利用微縮技術(shù)的優(yōu)勢(shì)做了3個(gè)版本的技術(shù)，包括40奈米4F2技術(shù)、35奈米和38奈米，屆時(shí)會(huì)看哪里個(gè)制程夠成熟，再選擇量產(chǎn)哪里項(xiàng)技術(shù)，若幸運(yùn)的話(huà)，XT:1950i在未來(lái)1年半之內(nèi)都可以持續(xù)使用，屆時(shí)需要再添購(gòu)部分的NXT:1950i機(jī)臺(tái)時(shí)，Immersion Scanner機(jī)臺(tái)的缺貨荒可以早已解除。