MEMS迎來第三次浪潮

　　據(jù)ADI公司預(yù)測(cè)，先進(jìn)、高性能的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))加速計(jì)及陀螺儀將轉(zhuǎn)換成各種不同的新型應(yīng)用。因此，我們正在迎來一個(gè)應(yīng)用MEMS的新浪潮，驅(qū)動(dòng)這股浪潮的是人們對(duì)MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器能力的意識(shí)獲得了提高。第一次浪潮是20世紀(jì)90年代由汽車安全系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)的;第二次浪潮是21世紀(jì)由消費(fèi)類產(chǎn)品推動(dòng)的。

　　ADI的副總裁兼總經(jīng)理Mark Martin展示了發(fā)展圖，由圖1可見，工業(yè)和醫(yī)療是增長(zhǎng)速度最快的領(lǐng)域。在對(duì)更高水平性能需求的推動(dòng)下，ADI對(duì)機(jī)器人、機(jī)器安全監(jiān)測(cè)以及便攜式醫(yī)藥設(shè)備方面提供iMEMS和iSensor運(yùn)動(dòng)信號(hào)處理技術(shù)。

　　世界主要MEMS傳感器供應(yīng)商之一Bosch Sensortec公司CEO(首席執(zhí)行官)Frank Melzer也認(rèn)為今年MEMS將繼續(xù)增長(zhǎng)。他說，加速度計(jì)大批量交付給客戶設(shè)備始于2006/2007年，并于此后經(jīng)歷了高速增長(zhǎng)的階段。由于移動(dòng)電話已占據(jù)了最大的市場(chǎng)份額，因此，人們相信MEMS市場(chǎng)仍能進(jìn)一步推動(dòng)未來的成長(zhǎng)。

　　Gartner公司調(diào)查總監(jiān)Stephan Ohr從宏觀上分析了MEMS的增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。Gartner把MEMS分為光學(xué)和非光學(xué)兩大類。光學(xué)MEMS如TI公司的DLP(數(shù)字投影芯片)。非光學(xué)MEMS傳感器年增長(zhǎng)率16.2%(圖2)，2010年市場(chǎng)容量會(huì)突破30億美元，有望達(dá)到31億美元;2009年為28億美元。其中，汽車應(yīng)用仍然保持非光學(xué)傳感器的第一位，占2009年總應(yīng)用中的60%以上;但是數(shù)據(jù)處理和通信應(yīng)用增長(zhǎng)最快，數(shù)據(jù)處理包括硬盤的G-Force(重力)傳感器，通信中包括手機(jī)的可旋轉(zhuǎn)(rational)的傳感和基于位置的服務(wù)。

　　Yole Developpement公司給出了MEMS代工的發(fā)展(如圖3)，也可以看到2010年以后，將迎來新一波浪潮。