未來LED芯片的價(jià)格將會(huì)有較大的下降空間，Veeco大中華區(qū)總經(jīng)理王克揚(yáng)近日表示，Veeco將通過MOCVD良率、工藝和架構(gòu)改善，使2014年高亮度LED外延的成本同2009年相比降低至少四倍。2009年高亮度LED外延片的成本1美元/平方厘米，2014年將下降至0.2美元/平方厘米。

　　王克揚(yáng)先生表示目前LED TV背光主導(dǎo)目前市場(chǎng)，照明會(huì)帶來另一波高峰。LED芯片價(jià)格的降低首先要降低LED外延片的成本，而降低外延成本需要從良率及產(chǎn)能同時(shí)著手。MOCVD機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性及重復(fù)性決定外延片良率，MOCVD機(jī)臺(tái)產(chǎn)能增加及成本的降低得從設(shè)計(jì)出發(fā)。

　　MOCVD設(shè)備的可靠性主要從平均故障間隔時(shí)間 (MTBF)、平均清潔間隔時(shí)間 (MTBC)、平均修復(fù)時(shí)間 (MTTR)三個(gè)方面考量，同時(shí)設(shè)備間匹配性和線上工藝控制是量產(chǎn)的關(guān)鍵。Veeco將通過MOCVD良率、工藝和架構(gòu)的改善將使高亮度LED外延的成本降低至少四倍。